CVD、MOCVD专用氢气发生器(南京/杭州)|精品推荐

普拉勒CVD、MOCVD专用氢气发生器是普拉勒（南京）仪器科技有限公司供应的产品，该公司是实验室前处理设备的主要供应商。这款发生器专为化学气相沉积（CVD）和金属有机化学气相沉积（MOCVD）技术设计。
 

基本信息 

1.工作原理：主要基于电解水技术。在电解池中，通过施加电压使水分子分解为氢气和氧气。氢气随后经过一系列的处理步骤，如气液分离、干燥和纯化，最终获得高纯度的氢气。这些处理步骤有助于去除氢气中的杂质和水分，确保氢气的纯度和稳定性。 

2.技术参数：氢气纯度可达99.999% - 99.99999%，氢气流量为1L - 17L/min，输出压力0 - 80psi（约0.5MPa），压力稳定性0.001MPa，供电电源220V±10%、50HZ，消耗功率8kw（HYDROGEN - 17L），纯水需求2MΩ&1L/h，氢气容积20L（HYDROGEN - 17L），环境温度1 - 40℃，相对湿度85%，海拔高度2000米，外形尺寸80x90x100（WxDxHcm）（HYDROGEN - 17L），净重约200kg（HYDROGEN - 17L）。 

产品特点 

1. 高纯度输出：能够稳定产生高达99.999%至99.99999%纯度的氢气，确保在薄膜生长过程中不受杂质的影响，从而提高最终产品的质量和性能。采用英国Peculiar的离子膜技术和分子筛耐用干燥剂，以及先进的氢/水分离技术和除湿处理，有效分离并去除氢气中的水分，保证输出氢气的纯净度。 

2. 精确的流量和压力控制：配备高精度的流量和压力调节系统，因为在CVD和MOCVD过程中，氢气的流量和压力直接影响薄膜的生长速率和均匀性。通过精确控制这些参数，可以优化薄膜的性能，满足不同的应用需求。还集成微电脑控制系统，实时监测和调整压力与流量，保持氢气输出的稳定性和可靠性。 

3. 多重安全性能：考虑到氢气的易燃性，这类氢气发生器设计了多重安全措施，包括泄漏监测、自动关闭系统以及防爆构造，确保实验室和生产环境的安全。 

4. 创新技术应用：通常采用先进技术，如固态聚合物电解质（SPE）技术，以确保产生高纯度的氢气，同时具备稳定的压力输出，这对于半导体生产中的清洗、退火、赋活处理以及硅晶片的取向和外延生长调控等关键过程至关重要。 

5. 环保与安全设计：采用无碱液电解技术，直接电解纯水，减少环境污染；同时，所有材料选择均符合高标准环保要求，确保操作过程的安全。 

6. 自动化与易用性：操作过程简便，同时配备了直观的用户界面和自动化控制系统，大大提升了实验和生产的效率。 

应用领域 

1. CVD和MOCVD技术：作为还原剂和载气，在CVD和MOCVD过程中起着至关重要的作用。通过提供高纯度的氢气，确保薄膜生长的纯度和质量。 

2. 半导体制造：在半导体制造领域具有广泛的应用，为化学反应提供所需的还原剂或保护气氛。可用于清洗硅片表面、去除氧化物和氮化物等杂质，提高薄膜的纯度和质量；还可用于半导体生产中的清洗、退火、赋活处理以及硅晶片的取向和外延生长调控等关键过程。 

3. 其他科研领域：在生物学实验、物理学研究以及氢能源开发和燃料电池的研究中也发挥着重要的作用。 

使用与维护 

使用前 

1）检查设备：仔细检查发生器外观是否完好，电源连接是否正常，并核对装箱单上的品名数量是否齐全。同时，确保仪器O?口畅通，加液口盖子取下以便注液。 

2）环境准备：选择一个具有良好通风性、远离热源、无震动、无阳光直射、无粉尘和腐蚀性气体的场所放置。环境温度应控制在0℃ - 40℃，环境相对湿度应不超过85%。 

3）正确接线与确认参数：确保设备接线正确，电源输入电压、电流及氢气纯度、流量等参数符合要求。 

使用中 

1）禁止私自调整：严禁在设备运行中随意调整安全保护参数，如电流和氢气流量，并且不应在未经授权的情况下进行机内部件的更换或调整。 

2）良好通风与禁止危险操作：确保设备使用区域通风良好，不得将设备置于爆炸危险环境中，如靠近火源或易燃物旁。 

3）防止气体泄漏：确保氢气发生器输出口气管连接正确，防止氢气泄漏。 

4）避免异常工作：在使用过程中，如发生器出现异常工作情况，须立即停机检查，并由专业人员进行问题排查和解决。 

使用后 

1）检查输出口气管：在供氢前，必须检查氢气发生器输出口的气管是否已正确连接。 

2）断开电源前操作：在关闭并断开电源前，应先拔掉输出口气管，避免残留氢气造成的安全隐患。 

保养和检修 

1）定期维护清洁：为延长设备使用寿命并保持其高效运行，必须定期对氢气发生器进行维护保养，包括清洗和更换吸附剂等关键部件。 

2）记录维护信息：每次维护检查后，应详细记录设备状态、检查人员信息及维护日期，以备后续查看和故障排查。 

常见问题解决方案 

1）避免氢气泄漏的措施：定期检查设备气路的密封性，发现问题及时修复，并使用符合标准要求的设备来运输和存储氢气。 

2）保持氢气纯度的方法：严格遵守使用规范，定期更换吸附剂，并使用相同类型和规格的吸附剂，以确保氢气的纯度。