金刚石MPCVD氢气发生器的规范定期维护保养方法分享
在微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）法制备高质量单晶或纳米金刚石过程中，高纯氢气（≥99.9999%）不仅是等离子体激发的载气，更是碳源裂解与金刚石生长的关键反应介质。金刚石MPCVD氢气发生器的稳定性直接决定薄膜纯度、生长速率与设备安全。科学规范的定期维护
金刚石MPCVD氢气发生器，是保障氢稳、压准、水净的核心。
一、每日运行前后基础检查
观察产气状态：确认出口气压稳定（通常0.3-0.6MPa），无异常波动或报警；
检查电解液液位：使用高纯去离子水（电阻率≥18.2MΩ·cm），液位应在MAX/MIN标线之间；
听运行噪音：正常为低频嗡鸣，若出现啸叫或爆裂声，可能气液分离异常。
二、每周例行保养
清洁气液分离器：排空冷凝水，用无油压缩空气吹扫内部滤芯，防止水汽带入MPCVD腔体；
检查干燥系统：更换或再生分子筛/钯膜干燥模块（视露点仪读数，要求≤-70℃）；
擦拭外壳与散热孔：防止粉尘堆积影响散热，尤其在洁净室环境中需防静电处理。
三、每月深度维护
电解槽性能检测：
测量产氢纯度（使用便携式氢分析仪），若O2或H2O杂质＞1ppm，需清洗电解池；
检查电极板是否有结垢或腐蚀，必要时用稀柠檬酸溶液循环清洗；
管路密封性测试：关闭出口阀，保压0.5MPa30分钟，压降应＜0.01MPa；
校准压力传感器与流量计：确保MPCVD工艺气体配比精准。
四、每季度专业维护
更换核心耗材：
电解质（如KOH溶液，部分机型为固态PEM膜）；
高效过滤器（0.01μm级）、脱氧催化剂及干燥剂；
电气系统检查：测试电源模块绝缘电阻、接地连续性及过载保护功能；
备份控制参数：导出运行日志与报警记录，用于趋势分析。
