CVD，MOCVD专用氢气发生器各部件分工明确持续输送高纯工艺气体
外延生长工艺对气源杂质管控十分严格，水汽、微量氧杂质进入管路，会直接影响薄膜结晶质量。CVD，MOCVD专用氢气发生器依托纯水电解制氢方式，持续向外延设备输送高纯工艺气体。
CVD，MOCVD专用氢气发生器各部件分工明确，了解各组成部件功能特点，便于日常巡检，及时识别运行异常。
1、电解产氢组件
电解产氢组件是产气核心，采用质子交换膜结构，以去离子水作为原料，在电场作用下分解产出氢气。组件内部配有气液分离结构，初步分离氢气中裹挟的液态水珠，减少水分带入后级纯化单元。电解电流可随后端用气需求动态调节，匹配外延工艺不同阶段的用气负荷。
2、多级纯化组件
多级纯化组件承接电解产出的粗氢，依次完成除湿、除氧、脱除微量杂质的处理流程。内部装填吸附介质与精密过滤结构，降低气体内水汽与氧化性杂质含量，满足外延工艺对于气源纯度的要求。纯化单元设置独立旁路，方便后期维护更换吸附耗材，不影响主气路长期供气。
3、压力流量调控组件
压力流量调控组件由压力传感器、调压阀与流量采集模块组成，负责稳定输出氢气参数。传感器实时采集管路压力信号，反馈调节产氢速率，抑制压力波动。流量模块可以记录供气流量，为工艺人员提供用气数据参考，适配不同外延设备的供气需求。
4、安全防护组件
安全防护组件集成氢气探测、过压泄压、缺水联锁等功能模块。舱内氢气浓度超标时可触发报警，压力超出设定区间时泄压阀自动开启，水箱液位不足时联锁停机，规避安全风险。组件独立于主控制回路，在主控异常时依旧可以发挥防护作用。
5、测控交互组件
测控交互组件集中管理整机运行逻辑，采集电解状态、压力、温度等各类信号。操作界面用于设定供气参数，查看设备实时工况，保存历史运行记录。系统自带故障提示功能，当纯化失效、管路供气不畅时推送提醒，帮助操作人员快速定位问题。
