1.膜分离制氮：这种制氮方法利用高压空气通过中空纤维膜组件，由于氮气分子和氧气分子的扩散速度差异，在膜组件输出端形成高纯度的氮气。最终的产品气纯度可以达到99%，气体流量大于5000ml/min。这种方法可以累加使用，不影响产品质量。在不考虑其他限制条件的情况下，气体装置可以无限扩充。膜分离制氮在工业上有很多应用，在实验室主要用于对气体纯度要求不高的吹扫、保护和氧气置换等。这种发生器的主要优点是流量大，实验室级别产品一般在50L/min左右，并且可以随意扩充。同时，寿命长，膜组件作为核心部件，在空气源稳定的情况下，寿命可达10年，维护成本极低。缺点是氮气纯度不能达到高纯级，膜组件目前都是进口的，国内无法提供，成本较高，仪器价格也相对较高。
2.PSA变压吸附制氮：这种制氮方法利用氮气与其他气体分子在分子筛中的吸附能力差异，形成浓度差异的积累，从而在分子筛柱末端产生高纯度的氮气。同时利用两根分子筛柱，一根吸附的同时引出一部分产品气为另一根解析，实现分子筛在线再生，整体表现为仪器持续输出高纯氮气。这种发生器可以根据需要调节氮气的纯度和流量，最高可生产99.999%的氮气产品。流量可以从几百毫升到几十升到几立方每分钟不等，纯度大小配置灵活，可以根据每个需求具体定制。PSA变压吸附技术在工业中应用广泛，已经发展了几十年，是非常成熟的技术。技术难点主要是分子筛柱填装技术，如果分子筛填装不好，会造成分子筛在气体高低压频繁变化中互相摩擦碰撞粉化，微孔数量减少，分子筛性能急剧降低。
3.电化学法制氮：这种方法是在氢气电解池的阴极(产氢气一侧)通入高压空气，在催化剂的作用下，氢气和氧气形成微观燃料电池，完成氧化还原反应生产水。宏观上表现为空气中的氧气被除去，剩余的是氮气。这种方法可以产出最高99.995%的氮气。但是有几个明显的缺陷：首先需要使用高浓度氢氧化钾溶液作为电解液，这种强碱溶液与气体直接接触，可能对气体质量有潜在影响，并有可能随气路输出；其次单位成本高；再者反应过程只去除了空气中的氧气，其他杂质气体并没有涉及；最后反应过程对电解池制作技术要求很高，不合适的电解池制作技术会导致氮气纯度数量级的降低。这种氮气发生器作为一种小流量氮气来源，总费用不过几千元，常用于色谱载气和小容量保护，是一种低成本的解决方案。
质谱专用氮气发生器
