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半导体专用氢气发生器操作须知

更新时间:2024-06-07点击次数:1816
  在半导体行业,氢气作为一种重要的工艺气体,广泛应用于化学气相沉积、退火处理、清洗等多种制造过程。为了保证氢气的纯度和压力满足生产需求,半导体专用氢气发生器成为了重要的设备。这些设备通常集成电解、分离、干燥与纯化等功能于一体,其操作流程严格规范,以确保安全高效地提供高纯度氢气。
 
  开机前准备
 
  1. 环境检查:确保氢气发生器周围无障碍物,通风良好,避免高温或潮湿环境,检查设备是否平稳安置在适当的工作台上。
 
  2. 安全检查:检查设备是否有泄漏迹象,确认所有连接处无松动。同时,检查紧急停机按钮、压力释放阀等安全装置是否可用。
 
  3. 电源与水源确认:确保电源符合设备要求,连接可靠,并且水源纯净,供水系统正常。
 
  启动运行
 
  1. 电源开启:打开设备主电源开关,待机体内电路完成自检后,进入待命状态。
 
  2. 参数设置:通过控制面板设置所需的氢气产量、纯度和压力。对于高级模型,可编程控制器可以存储和调用不同的运行模式。
 
  3. 启动电解:按下启动按钮,电解池开始工作,利用SPE固态电解质技术电解纯水产生氢气和氧气。
 
  4. 监测运行状态:设备运行中,要监控氢气纯度、压力以及电解池的温度等参数。现代设备多配备数字显示屏,实时显示运行数据。

 


 
  运行中管理
 
  1. 调节输出:根据实际需求,适时调整氢气的输出流量和压力,确保与半导体制程需求的匹配。
 
  2. 故障诊断:若设备出现异常,如压力过高、氢气纯度不足等,设备会发出警告,并自动切换到保护状态。此时需按照说明书进行故障诊断和处理。
 
  关机与维护
 
  1. 正常关机:停止电解过程,关闭电源,慢慢释放系统中的氢气,直至压力表归零。
 
  2. 定期维护:定期检查和更换干燥剂,清洁氢气输出口,确保传感器的准确性,维持设备的高性能运行。
 
  注意事项
 
  1. 操作人员培训:由于氢气具有高度易燃性,操作人员必须接受专业培训,熟悉设备操作规程和安全措施。
 
  2. 记录保持:每次操作结束后,记录设备运行数据和任何异常情况,以供未来参考。
 
  结语
 
  半导体专用氢气发生器是高精度的设备,需要严格按照操作流程进行操作和维护。正确的操作不仅能保证氢气的质量和安全,还能延长设备的使用寿命,提高半导体产品的生产效率和质量。通过严格遵守操作规程和定期维护,可以确保氢气发生器在半导体制造过程中发挥最大效能。
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