质谱专用氮气发生器采用模块化一体化无油压缩机，不依赖外接压缩气源，有效提高供气安全性，采用膜分离技术制氮，可连续获得清洁、干燥，无需二次纯化，不含邻苯二甲酸盐的氮。氮气纯度和流量稳定，使用寿命长。流量范围从5l/min到200l/min，可同时向一台或多台仪器供应氮气。

 

　　这是一项开创性的气体分离技术，采用进口碳分子筛（CMS）作为吸附剂，利用变压吸附（PSA）原理在常温下分离空气，生产高纯氮气。氧气和氮气在分子筛表面的分散速度不同，直径较小的气体分子（O2）分散速度较快，进入碳分子筛的微孔较多。直径较大的气体分子（N2）分散速度较慢，进入碳分子筛孔隙的较少。这种碳分子筛对氮和氧的选择性吸附差异，导致在短时间内富集吸附相中的氧和气相中的氮，从而将氧和氮分离，产生PSA下的气相富氮条件。

 

　　质谱专用氮气发生器将具有一定流量和纯度的普通氮气和氢气液相色谱气体进入设定装置。在混合器中充分混合后，进入含有钯催化剂的脱氧剂的凝固装置。在脱氧催化剂的作用下发生2h2+o2=2h2o的化学反应，达到脱氧的目的。脱氧后，氮气中的水蒸气在首末冷却器中脱水，再将氮气逐一通入单调，使氮气的露点达到-60℃左右。配备两台单调单元，一台单调吸附，另一台单调再生吸附大量水蒸气，为下一轮吸附工作做准备。通过单调氮气过滤器除尘得到高纯氮气，分子筛对氧气的吸附达到平衡。根据碳分子筛在不同压力下对吸附气体的吸附能力不同，压降使碳分子筛不吸附氧气。此过程为再生，根据再生压力不同可分为真空再生和常压再生。常压再生有利于分子筛的*再生，容易获得高纯度气体。设备不使用时应先切断电源，待冷却后关闭所有阀门，再停止供气，以减少下次使用时更换系统的时间.