CVD（化学气相沉积）是一种制备薄膜的方法，需要使用氢气，而氢气发生器则是提供氢源的设备之一。本文将介绍CVD，MOCVD专用氢气发生器使用方法，包括装置和操作。

 

　　CVD，MOCVD专用氢气发生器安装：

　　（1）首先需要将进口CVD氢气发生器与气瓶连接，确保气瓶阀门已关闭。

 

　　（2）然后，将其连接到CVD系统的氢气入口，并根据需要设置适当的流量。

 

　　（3）再通过仪表或显示器检查管路和阀门是否正确连接并处于开启状态。

 

　　CVD，MOCVD专用氢气发生器操作：

 

　　（1）在运行CVD前，需要正确操作以确保正常供应氢气。

 

　　（2）首先，打开气瓶阀门，为其提供气源，通常会听到气体流动声音。

 

　　（3）接下来，按下电源开关，开始进行加热，直到发生器中的电阻丝升至所需温度，这通常需要花费几分钟的时间。

 

　　（4）然后，设定合适的工作压力和氢气流量，通常这些值都可以在CVD系统手册或设备样品介绍里找到。

 

　　（5）再检测输出的氢气质量，并观察仪表或显示屏上读数是否稳定。在出现故障前提醒间隔时间内，及时更换氢气瓶，并维护好设备。

 

　　CVD，MOCVD专用氢气发生器使用时需注意以下安全事项：

　　（1）操作和使用该设备的人员必须具备应有的专业知识，遵循相关操作规程。一旦发生意外，请及时停止氢气发生反应、关闭氢气瓶阀门并远离装置。

 

　　（2）在操作期间，需要将氢气发生器安置于通风的场所，并确保室内没有明火或其他可能导致火灾的危险元素。

 

　　（3）长期不使用该设备时，应关闭氢气瓶阀门，切断气源，并进行适当保养。

 

　　通过本文，我们详细掌握了进口CVD氢气发生器的使用方法和安全注意事项。只有正确、安全合理的操作才能保证我们得到质量稳定，性能好的化学气相沉积片材产品。