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产品名称:CVD,MOCVD专用氢气发生器

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更新时间:2024-04-07

产品简介:CVD(Chemical Vapor Deposition)和MOCVD(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition)是两种常用的化学气相沉积技术,用于制备薄膜、涂层和纳米材料等。

详细资料:

CVD(Chemical Vapor Deposition)和MOCVD(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition)是两种常用的化学气相沉积技术,用于制备薄膜、涂层和纳米材料等。

CVD是一种通过在反应室内将反应物质以气体形式传输并在衬底表面发生化学反应,从而在衬底上形成所需材料的方法。该过程涉及到化学反应、气体输运和表面扩散等多个步骤。在CVD过程中,通过控制反应气体的组成、流速、温度和压力等参数,可以实现对所生长材料的成分、结构和性能的精确控制。

而MOCVD是一种特殊的CVD技术,主要用于生长复杂化合物薄膜,如半导体材料、光电材料等。MOCVD利用金属有机前驱物(通常是金属有机化合物)和载气(如氢气、氮气)在高温条件下反应,使金属有机前驱物分解并释放金属原子,然后这些金属原子与载气中的其他气体反应,最终在衬底表面形成所需薄膜。


CVD,MOCVD专用氢气发生器由超纯水机制取二级水,并储存至水箱备用。氢气发生器缺水时,自动供给至氢气发生器。多台氢气发生器可串联使用,通过串联控制线由一台发生器控制其他发生器,实现产气均匀分配。(以两台设备为例控制图如下)


 

CVD,MOCVD专用氢气发生器主要特点:

1、仪器的全部工作过程均由程序控制,自动恒压、恒流,通过串联控制线,可实现多组并联使用。 

2、使用固态电解质(PEM)法产生氢气,以超纯净水原料,以固体聚合物为电解质,贵金属做电极有效的除湿装置,降低了原始湿度,纯度稳定。 

3、操作方便使用时只需打开电源开关即可产氢,使用后无需泄压,直接关闭电源即可。可连续使用,也可间断使用,产氢量稳定不衰减。 

4、安全可靠:配有安全装置,电解超纯水制氢,无腐蚀、无污染,配有压力控制,缺水自动监控,漏气自动检测。 

5、配备纯水系统,完成自来水进水完成大流量的氢气制备。

 

CVD,MOCVD专用氢气发生器主要参数:

参数编号 参数名称 参数值
1 氢气纯度 99.9999-99.99999%
2 氢气流量 1L-17L/min
3 输出压力 0-80psi(约0.5MPa)
4 压力稳定性 0.001MPa
5 供电电源 220V±10% 50HZ
6 消耗功率 8kw(HYDROGEN-17L)
7 纯水需求 >2MΩ&1L/h
8 氢气容积 <20L(HYDROGEN-17L)
9 环境温度 1-40℃
10 相对湿度 <85%
11 海拔高度 <2000米
12 外形尺寸 80x90x100(WxDxH cm)(HYDROGEN-17L)
13 净 重 约200kg(HYDROGEN-17L)

 如果你对CVD,MOCVD专用氢气发生器感兴趣,想了解更详细的产品信息,请与我们联系:

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