产品名称：半导体专用氮气发生器
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更新时间：2024-04-07
产品简介：Peculiar针对LC/MS氮气流量、纯度、压力的特殊要求专门设计了安全、高效、方便的半导体专用氮气发生器，它可以产生纯度高达99.5%的洁净、干燥氮气，符合半导体行业腔体保护气，干泵吹扫气要求，包含APCI及ESI接口。
半导体专用氮气发生器(腔体保护气，干泵吹扫气)
型号：NITROGEN-M-100/200
Peculiar针对LC/MS氮气流量、纯度、压力的特殊要求专门设计了安全、高效、方便的半导体专用氮气发生器，它可以产生纯度高达99.5%的洁净、干燥氮气，符合半导体行业腔体保护气，干泵吹扫气要求，包含APCI及ESI接口。
半导体专用氮气发生器(腔体保护气，干泵吹扫气)主要技术参数：
◎流量：0-100/200L/min @100psi(7bar)
◎工作环境：5C-40℃ 湿度80%
◎使用最高海拔：2200m
◎露点：<-55℃
◎颗粒：<0.01μm
◎滞留液体：无
◎邻苯二甲酸：无
◎噪声：<47dB(A)
◎开机纯化时间：30min
◎功率：8000W
◎电力要求：220V 50Hz
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