CVD，MOCVD专用氢气发生器操作注意要点

一、引言化学气相沉积(ChemicalVaporDeposition，CVD)和金属有机化学气相沉积(MetalOrganicChemicalVaporDeposition，MOCVD)是两种在半导体制造中广泛应用的薄膜沉积技术。这两种技术都需要使用高纯度的氢气作为反应气体。因此，CVD，MOCVD专用氢气发生器的操作对于保证薄膜质量和设备安全至关重要。二、仪器简介CVD，MOCVD专用氢气发生器是一种能够产生高纯度氢气的设备，主要用于半导体制造中的CVD和MOCVD过程。该...

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使用大流量氮气发生器时所需要注意的事项介绍

氮气是空气中体积分数Zda的一种惰性气体，化学分子式为N2，通常状态下无色无味，比空气密度小。氮气化学性质不活泼，常温下难与其他物质进行反应，因此通常被用作保护气体，液氮可用作深度冷冻剂，高纯氮气可用作色谱等仪器的载气，氮气的性质决定了它的用途的广泛。大流量氮气发生器采用的是电催化方式，其中电解池是操纵燃料电池的逆过程设计而成。由于压力是不变的，干净的进料空气送入电解槽，空气中的氧气被吸附在阴极电子获得，生成氢氧根离子和水的影响，并迁移到阳极，然后在阳极处失电子析出氧气。只留...

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大流量氢气发生器中氢气的净化方法分享

大流量氢气发生器是实验室用来制备氢气的仪器，常温常压下，氢气是一种易燃烧，无色透明、无臭无味的气体。质量只有空气的1/14，即在0℃时，一个标准大气压下，密度为0.0899g/L。所以可作为飞艇、氢气球的填充气体(由于具有可燃性，安全性不高，飞艇现多用氦气填充)，本气体是相对分子质量小的物质，主要用作还原剂。今天咱们来了解下大流量氢气发生器中氢气的净化方法：氢气从电解槽电解出来之后，都需要经过净化才能供气相色谱仪使用，常用的净化方式主要有以下几种：1、变压吸附净化系统变压吸附...

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下次遇到空气发生器出现故障就这么办！

空气发生器是一种常用的发生器产品，空气发生器主要由空压机、制冷机、吸附器、三级精密干燥空气过滤器、电控系统、减压阀、露点仪等部分组成。压缩后的空气进入预冷器冷却后进入离心脱水过滤器中进行水气分离，再进入制冷机深度冷凝脱水，大部分水气被凝结成水，空气进行第二次聚结脱水过滤器，然后进入可再生干燥空气过滤器，将剩余水气吸附，吸附脱水后的干燥空气进入0.01μm高精度过滤器中去除微粒后经稳压阀输送到需要干燥气体的设备中，以保证变压器不会因杂质降低绝缘强度。在空气发生器的使用过程中，如...

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零级空气发生器压力为零的故障案例分析

当对各岗位的设备运行和环境卫生进行巡检，发现了一台正在运行的气相色谱（那天没有分析任务）和空气、氮气发生器压力不正常，空气和氮气的压力只能维持在0.3MPa，压力下降，因为氮气的气源也来自空气发生器，现在零级空气发生器的压力降到0.3MPa，所以氮气的压力也一定跟着降到0.3MPa。根据判断，决定对本设备进行处理。经检查，零级空气发生器的电源部分和压缩机主机没有问题，可能是压力控制系统出问题，也可能是启动压缩机前面的行程开关出现问题，使该设备一直处于停运状态（查看压缩机前面的...

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